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반도체 테스트 장비의 이벤트 로그를 활용한 장비의 이상 동작 패턴 탐지 방법 개발
- Title
- 반도체 테스트 장비의 이벤트 로그를 활용한 장비의 이상 동작 패턴 탐지 방법 개발
- Date Issued
- 2022-11-04
- Publisher
- 대한산업공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2022 대한산업공학회 추계학술대회, 2022-11-04
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Related Researcher
- 김광재KIM, KWANG JAE
- Dept. of Industrial & Management Eng.