REACTIVE RF 마그네트론 스퍼터링법으로 SI(100) 기판에 MGO 박막 제조시 증착변수의 영향
- Title
- REACTIVE RF 마그네트론 스퍼터링법으로 SI(100) 기판에 MGO 박막 제조시 증착변수의 영향
- Authors
- 이영준; 백성기
- Date Issued
- 1994-01
- Publisher
- 한국세라믹학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/30659
- ISSN
- 1229-7801
- Article Type
- Article
- Citation
- 한국세라믹학회지, vol. 31, no. 6, page. 643 - 650, 1994-01
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