이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 SI (001) 기판의 표면구조 변화
- Title
- 이온 빔 스퍼터 에칭에 의한 SI (001) 기판의 표면구조 변화
- Authors
- 김형석; 서주형; 박찬경
- Date Issued
- 2005-01
- Publisher
- 대한금속재료학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/31714
- ISSN
- 0253-3847
- Article Type
- Article
- Citation
- 대한금속·재료학회지, vol. 43, no. 1, page. 68 - 73, 2005-01
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.