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(hexafluoroacetylacetonate)Cu(I)(vinylcyclohexane)과 (hexafluoroacetylacetonate)Cu(I)(allylcyclopentane)을 이용한 구 박막의 유기금속 화학증착과 산화공정을 이용한 구리 박막의 건식각
- Title
- (hexafluoroacetylacetonate)Cu(I)(vinylcyclohexane)과 (hexafluoroacetylacetonate)Cu(I)(allylcyclopentane)을 이용한 구 박막의 유기금속 화학증착과 산화공정을 이용한 구리 박막의 건식각
- Authors
- 강상우
- Date Issued
- 1999
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899644
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/4871
- Article Type
- Thesis
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