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펄스 파워를 이용한 음성전기 방전의 3차원 에칭 트렌치 대전
- Title
- 펄스 파워를 이용한 음성전기 방전의 3차원 에칭 트렌치 대전
- Authors
- 김대경
- Date Issued
- 2004
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001907035
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/7253
- Article Type
- Thesis
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