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스퍼터링으로 제조된 DRAM용 Ba0.5Sr0.5TiO3 강유전체 박막의 미세구조 및 전기적 특성
- Title
- 스퍼터링으로 제조된 DRAM용 Ba0.5Sr0.5TiO3 강유전체 박막의 미세구조 및 전기적 특성
- Authors
- 장현명
- Date Issued
- 1997-10-01
- Publisher
- 한국세라믹학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국요업학회 추계 학술 발표회, 1997-10-01
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Related Researcher
- 장현명JANG, HYUN MYUNG
- Div of Advanced Materials Science