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1t 압력의 메커니즘과 스퍼터 이온펌프의 최적화에 관한 연구
- Title
- 1t 압력의 메커니즘과 스퍼터 이온펌프의 최적화에 관한 연구
- Authors
- 하태균
- Date Issued
- 2009
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001909756
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/8999
- Article Type
- Thesis
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