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입자 시뮬레이션을 활용한 축전 결합 플라즈마 소스원에서의 전자 및 이온들의 운동 특성에 대한 연구
- Title
- 입자 시뮬레이션을 활용한 축전 결합 플라즈마 소스원에서의 전자 및 이온들의 운동 특성에 대한 연구
- Authors
- 이성희
- Date Issued
- 2009
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001909829
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/9072
- Article Type
- Thesis
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